洁（jié）净技术又称为生产环境和污染控制技术，是近二、三（sān）十年来随着高（gāo）新技术发（fā）展（zhǎn）起来的（de）一门综合性的新兴科学技术。洁净技术专门研究并提（tí）供洁净的生产工艺环境和生产过程中使用（yòng）的（de）各种（zhǒng）高纯介（jiè）质，有效地控制微（wēi）量杂（zá）质，以保证高科技产品的成品率和可（kě）*性。洁净技术通常包括：空气净（jìng）化技术、空调（diào）技术、水纯化技术、气体纯化技术、微量杂质控制技（jì）术、洁净环境的（de）监测技术及相（xiàng）关的环境质量的（de）控制（zhì）技术。净化工程（chéng）技术在（zài）电子（zǐ）、核子、航空（kōng）航（háng）天、生物（wù）工程、制药、精密机械、化工、食品、汽车制造等（děng）高科技工业领域及现代（dài）科（kē）学领域中得到广泛（fàn）应（yīng）用。净化洁净工程

对于半导体设（shè）备来讲，净化工程技术在微电子技术中起着十分重要的作用。微电子技术的核（hé）心是集成电路，而集成电路的生产对其工艺环境和工（gōng）艺流程中的净化技术（shù）和设备提出了严格的要求。我国“九五”期（qī）间大力（lì）发展以（yǐ）微电子为重点的信息产业。净化工程技术水平（píng）在某种意义上已成为衡量一个（gè）国家（jiā）和地（dì）区科学技术水平和工业水平的一个重要标志。
　　随着我国人民生活水平提高，人们对生存环境及生活质量提出了越来越高要求，用（yòng）水纯化设备（bèi）制备的高纯水（shuǐ）已受到人们普遍欢迎，净化（huà）工程技术已开始进入千家万户，进入人们的现代生活。
 　　我国的洁净技术和设备与国外先进国（guó）家相比差距是明显的，我国1965年才开始生（shēng）产的（de）HEPA过滤器，比国外晚了十五年。1975年开始（shǐ）生产的（de）光散射尘（chén）埃粒子计数器比国外晚了二十年（nián）。0．1微米洁净技术和设备（bèi）在国际上先进国家已（yǐ）成（chéng）为成熟技术，我国则（zé）刚刚起步。
 　　世界各工业先进国家为适应超净技术的发展（zhǎn），对大量使用的高效过滤器的研究从（cóng）未（wèi）中断，几年来一直在开发不（bú）同结构不同性能的新产品，美国自1979年开始研（yán）制0．1微米ULPA过滤器，1984年美国AAF公司开始生产0．1微米无隔（gé）板ULPA过滤器，目前0．1微米ULPA过滤器（qì）在美国AAF公司、FLANDERS公司和CAMBRIDGE公司（sī）已（yǐ）形成商品化生产。日本也（yě）已成为世界上生产0．1微米ULPA过滤器厂家多（duō）的国家，品种繁多，产品系列化，尤其是（shì）低压损型0．1微米ULPA过（guò）滤器的开发成功解决了初阻力大的技术难题。国际（jì）市场对高（gāo）效空气过滤器的需求量很大，且每年均有增长，目前日本每年销售超过100万台，按每台平均（jun1）价格200美元计算，销售额达2亿美元。我国（guó）高效空气过滤器市场需求（qiú）量已接近每年10万台（tái），占国（guó）际市场（chǎng）的2％~4％，但至今还没（méi）有0．1微米ULPA过滤器生产，用于超大规模集成电路生产洁（jié）净厂（chǎng）房及各（gè）种（zhǒng）高科技领域洁净厂房的0．1微（wēi）米ULPA过滤（lǜ）器目前还要依赖进口。
　　在（zài）洁净室建设规模和技（jì）术水平（píng）上，我国（guó）与先进国家差距更大。日本清水建设公司一家，1982年到1987年期间承建的洁净室面积达71．8万平方米，而我国目前（qián）一年承建的洁净室（shì）总面积还（hái）不到10万平方米，但八五（wǔ）期间有较（jiào）大发展，1993年承建（jiàn）洁净室总面积已接近15万平方米。美国的洁净室建设规模更大，1998年（nián）统（tǒng）计已达188．5万平方米。在洁净工程（chéng）技术水平上，80年代末期（qī），国外已大量建成0．1微米级的超净室，1987年日本三洋新泻工场建成十（shí）级洁净厂（chǎng）房3000平方米，NIT原木则建成了四个1000平方米控制0．1微米尘埃的千级厂房，换气次数高达300次／分。美国在台湾的TSMCS新厂已建成第四代管道式洁净室总（zǒng）面积达10000平方（fāng）米。我国使用的0，1微米十级洁净室主要依赖从国外进口。由于高洁净级别的（de）洁净室造价十分昂贵，0．1微米十级洁净室每平方米造价高达1万美元以上。在大规模集成电路制造装备的投资中洁净厂房占有相当高的比例，这（zhè）与集成电路工艺不断更新，产品更新换代周期越来越快的发展趋势不相适应（yīng），严重（chóng）制约了大规模集成电路技术的发展。美国ASYST公司、德（dé）国MW公司发（fā）展的使用隔离技术的亚微（wēi）米生产微环境系统设备和技术在近几年中得到广泛采用。该项新的洁净技术在（zài）100级（jí）洁净度的洁净厂房中，采用工艺设备局部（bù）使用隔离技术的微环境，把投资比例压缩到高级别的微环境，消除了操作者与工艺设备运行的二次污染源产（chǎn）生对集成电路成品率（lǜ）和可（kě）*性的影响作用。
　　洁净技术和装备的国际市（shì）场（chǎng）十分巨（jù）大，日本到80年代末、90年代初（chū）洁净技术和设备的销售额已突破35亿美元。美国和（hé）西欧等先进国家洁净设备和基础部（bù）件的销售额已（yǐ）达73亿美（měi）元。据中国（guó）电子专用设备工（gōng）业（yè）协会统（tǒng）计，我国（guó）主要八家大（dà）的净化设备（bèi）厂的销售额1990年为（wéi）8217万元，还（hái）不足1亿，1993年达到14495万元，占国际市场销售额的0．34％。但随着我国（guó）高新技（jì）术的（de）迅速（sù）发（fā）展和微电子工业、光纤（xiān）工业、液晶显示工业及光电器件工业、生物工程、医（yī）药工业的发展，我国潜在的巨大的洁净技术产品市场，以每年（nián）40％~50％的增长速（sù）度在（zài）增（zēng）加。